什么是 Ion Beam Etching（离子束刻蚀）？ Ion Beam Etching也称为Ion Milling，即利用离子束打磨晶圆表面，相当于“喷砂工艺”的原子级版本。 ion 刻蚀 离子束 beam 离子束刻蚀 2025-10-24 11:12 16